如果能在1993年实现0.5微米稳定量产。
从现在算起未来四五年内,国内半导体制程水平将不会落后国际主流太多,足以争取到充足的追赶、迭代、成长时间。
按照目前的研发进度,这套优化方案93年上半年就有可能实现。
如果这样,仅从制程上来讲,还能领先于大部分半导体厂商。
当然,要付出一些代价是必须的,但代价是值得的。
就是DZ,也是1994年底才有0.5微米制程商业产线。
如果依托辅助工艺、微调设备进行极限压榨,冲刺0.35微米制程,技术层面也是有可能的,只是良率和成本代价过高,仅适合实验室研发试错,无法规模化商业量产。
但可以培养自己团队的技术水平。
凡子清满脸震惊,难以置信地看着易飞:“你要把0.8微米的成熟商用产线,直接跨代优化迭代到0.5微米制程?”
这大半年来,她全身心研究易飞搞出的优化技术,反复在EDA软件上仿真推演、模拟试错,最初的初衷只是提升现有设备的生产良率、降低缺陷率,从未敢奢望跨代提升制程。
0.8微米和0.5微米看似数值差距不大,实则是整整一代的技术代差,是行业数年的迭代差距。
在G线上实现0.5微米制程,易飞可是真的敢想啊。
“确实是跨代优化,但整体风险可控,咱也是没有办法的事啊。”
易飞解释道“目前国际顶尖大厂的实验室,已经基本跑通0.5微米制程技术,两年后就会有厂家商用量产,我们和国际顶尖水平的差距依旧很大。既然无法正面追赶,就只能用非常规技术手段突围,尽量缩小代差、争取成长时间。只是这套优化方案,不是我和丽丽来实现,是有凡阿姨带着咱的团队去实现。”
如今飞思研究院规模已然成型,百余名科研人员覆盖半导体工艺、设备、软件、材料等各类细分领域。
既有行业工作多年的资深精英,也有新锐大学毕业生、研究生,搭配功底扎实的东苏顶尖技术骨干,团队实力完全足以落地这套优化技术。
这套极限优化技术之所以无人尝试、无人落地,只是因为当下全球行业内,没人摸清这套核心优化思路。
他和丽丽了解完整的技术逻辑和工艺细节,自然可以水到渠成,顺利实现。
研究院内也有软件、集成电路专项人才,还能同步配套开发全新控制系统,完善全流程优化体系。
也就是说,他和丽丽知道最终答案。
而别人还得摸索十年。
凡子清说道:“易总,你先别急着往下说,我积攒了大半年、几十天的疑问,正好你和丽丽今天过来,我一次性全部请教清楚。”
她说完,从办公桌抽屉里取出一台微型收录机,熟练地倒带、调试好状态,轻轻放在桌面正中,准备录音留存。
赵丽丽见状忍不住莞尔一笑:“凡阿姨,怎么还要录音啊?”
易飞最爱走到哪都带个微型的收录机。
他是用来对付于小明这种人的。
这种人,你没法打,没法骂,但易飞有办法让他们啥都说,有些话录下来就能让他们老实。
“你俩向来神龙见首不见尾,难得来一趟帝都。”
凡子清笑着解释,“我可没有你们过目不忘的记忆力,这么多技术、思路、底层逻辑,内容繁杂又深奥,我怕转头就忘,录下来之后可以反复复盘、慢慢钻研学习。”
她心中也暗自感慨,说来有趣,她身为华大的教授,如今却要向两个还在读研的年轻人求教前沿技术。
多少年都没有事就这样发生了。
接下来整整一个下午。
易飞细致、系统地讲解了OAI、PSM、OPC、高分辨率光刻胶、阶梯加温法等一系列核心设备优化与工艺升级技术。
主要是讲解凡子清对这些技术没有理解明白的问题。
赵丽丽也适时补充一些细节。
凡子清一边录音,一边飞速记录笔记,诸多困扰她数十天,反复推演无解的技术难题,在两人的讲解下瞬间豁然开朗、迎刃而解。
讲解结束后。
凡子清依旧心存顾虑,问出了最关键的问题:“易总,我们自主研发的这些优化技术,一旦落地应用后,会不会侵犯国外企业的专利?咱们研究院虽然申请了大量专利,但能不能做到全覆盖,规避所有侵权风险?”
易飞是最讲究知识产权的。
在港城都有一个专门的专利公司申请、购买专利。
研究院都有两名从港城来的两名专门负责专利的人员。
但自己也不能侵权别人的专利。
否则可能引起纠纷。
易飞说道:“完全不用担心侵权问题。第一,国外大量相关的基础专利、优化专利,都没有在国内申请布局,我们仅在国内使用、不对外出口、不跨境销售,完全不存在侵权风险。第二,我们所有技术,都是依托自身搭建的理论体系、独立研发落地,技术实现路径、硬件结构逻辑、工艺优化方案,都和国外专利完全不同,完美规避了所有的专利壁垒,属于完全自主的创新技术。”
如果不是他现在记忆和常人不一样,哪怕覃玉铃瞟过一眼的东西都会记在脑子里。
想复刻未来三十年的超前技术,同时规避现有专利陷阱、搭建全新自主技术体系,那还真的不容易。
凡子清又抛出了一个现实难题:“算法层面我们可以自主攻坚、慢慢打磨,但OAI、PSM专用掩膜版,我们现在还没有突破。”
“这不还有时间吗?”
易飞说道:“OAI设备在本次技术置换产线时,看看能不能配套引进,我们先做简单的二极,尽量早点搞出来,咱有光刻仿真,有光学参数,先搞了个简单的问题不大,加快这方面的研究,需要什么向陈雪宁提,外协单位用钱砸,PSM掩膜板也加快研究,我已经催促李余新在东瀛加速收购专业掩膜版工厂,直接补齐产业链短板。现阶段我们的核心任务,是先在实验室跑通全套技术逻辑,完善工艺体系,打好基础,避免后续产线建成后,出现技术衔接断层、手足无措的情况。我争取尽快把实验线建好,把这套技术在明年年底能完成实际应用。”
凡子清说道:“还有一个问题我一直想不通,既然这些优化技术实用性这么强、提升效果这么大,国外顶尖企业为什么不落地应用?就拿即将和我们合作的东瀛企业来说,他们手握成熟的0.8微米先进产线,为什么不自主优化升级、压榨设备极限到0.5微米制程?”
易飞说道:“国外大企业根本看不上这类老旧设备的极限优化方案。他们的实验室早已跑通0.5微米制程技术,两年内就能直接商用量产,迭代路径清晰、技术储备充足,根本没必要花费大量资金、时间和人力成本,在旧设备上反复打磨、极限优化。”
“但我们不一样,我们没有从容迭代的选择权。国外I线高端光刻设备全面禁售封锁,就算花钱也无法引进置换,只能被迫立足现有设备,极限压榨G线设备的性能潜力,以旧换新、以优化补代差。”
“而且这类跨代优化,绝非简单堆砌技术就能实现,每提升一丝制程精度、每优化一点工艺参数,都极易造成生产良率大幅下滑,需要成千上万次的反复调试、精准把控、数据复盘,国外企业根本不愿意承担这种高昂的试错成本和量产风险。”
对国外