凡子清知道，光刻设备从来都不是单一设备的孤军奋战。
半导体芯片制造是一套完整、严密、环环相扣的超级工业体系。
一台先进光刻机，仅仅是整套制程的核心，想要实现完整芯片量产，刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、快速退火设备、精密清洗设备、检测量测设备，数十种核心装备缺一不可，必须同步迭代更新。
国内半导体配套产业全面落后，湿法刻蚀精度粗糙，干法等离子刻蚀参数无法精准控制，薄膜沉积均匀性差，离子注入掺杂精度偏低，快速退火温控不稳。
每一项都是卡脖子的难题。
如果仅仅大研发一台改良版I线光刻机，团队尚且游刃有余。
一年多以来，全员依托易飞给出的技术改良方案，对老旧设备进行拆解、测绘、改造、升级，适配现有工艺，稳步迭代，难度可控。
就是说对于I线光刻机，配套设备简单升级，工艺调整即可。
这些工作，他们已经很成熟。
可一旦1996年要生产KrF步进扫描光刻机，整套制程精度全面跃升，现有所有配套设备都会彻底跟不上进度。
届时单纯的改造优化已经不行，必须研发全新架构、全新精度的新一代配套设备。
这意味着，未来四到五年，飞思研究院要攻坚的绝非一台光刻机，而是数十种半导体核心工艺设备的全套国产替代与技术升级。
指望从国外买，还是不太靠谱。
凡子清继续剖析着当下最现实、最残酷的外部困境，“我们心里都清楚，全套设备指望进口根本不现实。巴统禁运体系不是摆设，对华高端半导体设备封锁严苛至极。哪怕您对外公开表态，谁敢干预我们正常商贸往来，我们就封锁锂电、无氟环保等独家技术作为反制，但国际技术垄断、地缘技术壁垒，不是几句反制就能彻底打破的。”
“未来我们或许能在部分中低端设备上放宽进口限制，但高端精密设备、核心零部件、特种材料，依旧买不到，引进不了。一旦配套设备、工艺体系跟不上，哪怕我们造出世界一流的光刻机，也只是一台无法量产的摆设，根本发挥不出任何价值。”
易飞预判到所有风险，针对每一类核心设备，每一项关键工艺，都提前撰写了完整的改良方案和迭代路线，为团队指明了清晰的攻坚方向。
即便如此，凡子清心中依旧压力如山。
这段时间，她反复和东苏专家组核心骨干通宵研讨、反复推演方案、测算参数、模拟落地场景，团队内部呈现出两种截然不同的心态。
那些原本深耕半导体行业，亲历过行业技术瓶颈与设备短板的东苏老牌半导体专家，全都面露凝重，深知其中难度，心中压力巨大，清楚这套跨越式迭代，完全突破了现有工业体系的认知与上限。
反倒是那些原本从事精密光学、高能物理、超精密机械、激光材料研究，并非专职半导体领域的专家，心态更为乐观。
他们擅长跨领域突破、擅长重构结构、擅长从零搭建精密体系，在他们眼中，项目虽难度极高、挑战巨大，但有路可走、有方案可依、有技术可落地，并非天方夜谭。
无论心态如何、压力几何，所有人都清楚，项目已经全面铺开，人员已经全部定岗，梯队已经搭建完成，所有人只能咬紧牙关，按计划稳步推进。
没有退路可言。
易飞静静听完，神色平静，没有丝毫意外，也没有半点焦虑。
他看得清所有困难，也预判了所有压力，自然明白凡子清此刻的顾虑与忐忑。
片刻后，他才说道：“凡阿姨，我听得出来，你现在信心有些不足。”
“你不用过度焦虑，也不用过度紧绷。春节前后，还会有大批量东苏顶尖技术骨干和精密工艺专家陆续入职，进一步充实我们的攻坚梯队，补足目前的人才短板。”
“另外，目前我们院内优秀的青年本科生、研究生、博士生储备尚且不足，等过完年毕业季，我们会大规模吸纳应届优秀毕业生，搭建属于飞思自己的本土青年科研梯队，完成人才新老交替，逐渐摆脱对外籍专家的单一依赖。”
“您说的问题我都知道，我不会给你们下达一个不可能完成的任务。”
他说完，从摆茶几下面拿出一本厚厚的资料放在凡子清面前，“这是我最近写的方案书，回头凡阿姨仔细看看就明白了。”
自己定下的目标确实极高，放在当下的国内行业环境中，近乎逆天，但绝非无法实现。
他现在给出的整套技术方案，本质上都是2000年前后的成熟先进技术体系。
从高性能高压汞灯到KRF光源的迭代升级，从光路设计、精密机械传动，到工控算法、闭环控制系统，所有技术都是经过市场验证的成熟方案，
他只是让项目组提前实现出来，并非凭空捏造和无法实现的空想。
除了极少数受当下工业基础限制，暂时无法实现的极致工艺，绝大部分技术都可以依托现有设备、现有材料、现有工业体系实现。
2000年的I线光刻机能达到的性能，93年做出来也能达到。
即使不能达到，也不会差太多。
93年推出原生分辨率达到0.45微米分辨率的I线光刻机完全有可能。
研究院内有华大成熟样机作为实物参考。
有完整的专利包、工艺包、参数包，有徐教授团队借调的十几名资深骨干坐镇，有上百名理论扎实、功底深厚、擅长精密突破的东苏专家攻坚核心难题。
一切都是水到渠成的事。
让自己一个人去制造一台光刻设备同时优化相应的配套设备肯定不现实。
别说自己，就是覃玉铃也没有制造设备的经历。
说起来，都是纯理论的。
可有了这些理论，加上东苏的专家那就不一样了。
告诉他们高压汞灯光源如何制造，他们就能制造出来。
他们在精密光学、光电转换、超精密机械领域都有丰富的经验。在光学设计、光电控制、精密机械加工、特种材料制备上，有着得天独厚的优势。
更重要的是，绝大多数配套特种材料、精密零部件，东苏都具备自主研发、自主制备的能力。
“我们从来没有要求一步到位、全部国产化。”
易飞说道：“现阶段，实在无法自主制备、无法突破的精密部件、特种材料，完全可以优先进口采购，先把整机制造出来，把技术跑通，把工艺定型，后续再逐年迭代，逐步国产化全面替代。”
先解决有无，再追求完美，这是最务实思路。
不是那些所谓的专家说的，国产化就是哪怕一个螺钉都是国产的才算。
凡子清抬眼看向易飞，语气带着一丝无奈与坦诚：“易总，不是我不想有信心，是时间太紧，跨度和难度太高。”
“现在人员全部就位，项目也全面启动，但最终的技术效果，目前谁都看不出来。”
别说她这个一线研究院院长心存忐忑，就连在光刻领域沉浸二十多年的徐教授，看完整套方案，了解完目标节点后，虽然满心激动和期待，时常抽空来研究院和东苏专家交流探讨，却依旧没有十足的信心。
一年半突破0.45微米原生分辨率I线光刻机，五年内落地KrF步进扫描光刻机，同步完成数十种核心半导体设备迭代升级。
这已经不是追赶，而是彻底的跨越、颠覆与逆袭。
凡子清看看手中的那本厚厚的资料，也许成功的密码就在这本资料中。