易居文学 > 言情小说 > 从1987开始最新章节列表 > 第3229章 逐项解释
  这才是最致命的问题。
  这批东瀛工程师的强大,在于他们熟悉成熟的CCD量产体系,能把老旧LOCOS工艺和两层栅极架构的传统CCD做到极致良率与稳定量产。
  可他们的经验,全部局限在现有的成熟技术框架之内。
  而易总的方案,直接跳出了这个框架。
  STI像素隔离、三层重叠多晶硅栅、梯度埋沟注入、双层复合微透镜、垂直溢流抗晕结构……每一项都是打破现有行业认知的新工艺。
  对这批工程师而言,这不是改良升级,而是彻底的重新学习、从零研发。
  当然,研发工艺也是他们的强项,可是这谁敢保证。
  “他们能不能看懂,能不能吃透,能不能调试出合格的量产工艺,我心里也没底。”
  李余新如实说道:“他们最擅长的是按成熟手册量产,优化现有工艺缺陷,从零开发一套全新的CCD工艺体系,他们需要多少时间,我也不太好说。只能全员从零摸索,边试边改。”
  会议室里再次陷入沉寂。
  众人此刻终于彻底看清了当下的局势。
  飞思集团现在不缺理论、不缺方案、不缺资金、不缺设备、不缺顶尖的设计人才。
  唯独缺能够落地全新工艺和量产难题的工艺团队。
  设计的天花板,被易总打开,技术都在全球领先。
  可工艺的地板,还停留在传统水准。
  一边是超越时代的完美顶层设计,一边是受制于时代的量产工艺。
  杨安贵看着桌上厚厚的技术资料,心中五味杂陈。
  他第一次体会到这种极致的反差,手里握着能颠覆全球市场的王牌方案,却卡在最基础的工艺落地环节,举步维艰。
  易飞看着众人凝重的神色,脸上依旧云淡风轻,没有丝毫焦虑。
  他比任何人都清楚前路的困难,但也比任何人都清楚,这是飞思必须跨过的关卡。
  CCD的时代转瞬即逝,短短不到二十年的窗口期,如今提前布局、抢占专利、吃透工艺、置换技术,是飞思的机会。
  他准备在1998年-2000年之间就把把CCD技术卖出去了。
  不可能慢慢向上迭代。
  但杨安贵他们忘了,自己不仅仅知道技术,也知道工艺啊。
  资料中不但有技术,也有工艺,虽然自己也没有亲手做过,但理论至少没有问题,那些工艺工程师看了,会知道如何做的。
  让他们单独开发这些工艺,一年肯定不行。
  但在自己的指导下,几个月就行了啊。
  又不是硬件不行,现有设备只需少量改造即可。
  易飞说道:“我先说一点,整套方案里所有单项技术,在物理原理层面全部具备实现条件,依托我们改造后的0.5微米G/I 线光刻产线,配套刻蚀、离子注入、CMP、薄膜沉积设备,硬件上不存在无法逾越的门槛。
  但有一个重要区分,单项技术有实验室文献和有小规模样品验证,不等于全球已经有厂商把整套技术打包商用。”
  他拿起笔,逐项梳理边界。
  “第一,CCD 专用STI 浅沟槽隔离。STI 工艺已经在0.8微米逻辑、存储器工艺导入,刻蚀、氧化填充、平坦化整套设备原理成熟。限制只是,当前全球所有量产CCD 清一色使用LOCOS 隔离,没有任何大厂把STI 大规模用于感光像素阵列。逻辑芯片的STI 工艺参数不能直接照搬给CCD,硅衬底光电特性、沟槽深度、侧壁掺杂都要重新迭代开发,设备能实现,但没有现成量产菜单。
  第二,梯度掺杂差异化HAD埋层光电二极管。八十年代中后期就有HAD 结构实验室样品,多段梯度离子注入、深浅PN 结制备,我们现有的离子注入机完全支持。只是公开资料只有基础原型,适配高密度缩小像素的最优掺杂剖面和垂直转移寄存器耦合方案,需要我们自主仿真迭代,没有现成量产数据可以直接取用。
  第三,三段式梯度埋沟搭配三层重叠多晶硅栅。多层重叠多晶硅栅和分段埋沟注入,在我们0.5微米产线能够实现。各大厂商迟迟不在民用CCD 推广,纯粹是三层栅工艺窗口窄、成本更高,商业上选择保守路线,不是工艺上做不出来。
  第四,双层复合微透镜搭配晶圆嵌入式滤光层。热回流制备球面微透镜1988年工艺方案完全公开,1991年已有实验室CCD 搭载测试;底层平坦膜加上层微透镜的双层光路架构,光学仿真理论成熟。短板依旧是行业主流采用封装后贴附滤光片,前道晶圆一体化集成工艺缺少量产经验。
  第五,垂直溢流抗晕结构。各类CCD 抗晕阱拓扑八十年代中后期大量学术论文发表,垂直溢流只是平面泄放结构的改良变种,仅仅增加一道定向离子注入工序,设备不存在任何改造压力。
  第六,多通道并行读出与可编程增益放大电路。外围电路依托0.5微米CMOS 工艺平台,这个节点本身就是当下全球主流工艺,模拟放大器、多路时序驱动电路拓扑有大量成熟文献支撑。难点不在于工艺制造,而是长阵列CCD 和多路读出电路的时序协同匹配,需要联合仿真反复调试。”
  易飞停顿片刻,做出总结:“简单来说,不存在任何一项技术是超出现在工艺极限。所有技术,我们的产线硬件条件足够支撑研发验证。最大的难点不是‘能不能造出来’,而是没有现成完整量产工艺手册,需要我们从零开发CCD 专属工艺流程。所我有讲的这些,资料上都有详细的实现过程,难度是有点,但能实现。”
  杨安贵说道:“那工艺工程师层面呢?我们招募的东瀛资深工艺专家,是不是天然就掌握这套工艺?”
  “并不是。”
  易飞直接给出结论,“先说这批东瀛工艺工程师,他们的优势是精通东瀛IDM 成熟量产体系,严格依照工艺SOP 操作,擅长LOCOS 架构传统CCD笔标准逻辑芯片的良率调试、缺陷溯源、腔体管控。但他们的知识体系局限在原厂已经定型和投入量产的工艺基线。
  原厂没有立项CCD像素STI 隔离、三层多晶硅栅民用CCD、双层一体化微透镜集成方案,他们最多只是在内部技术交流会上听过相关实验室课题,看过简短报告,没有完整开发、调试整套工艺的实战经验。
  他们擅长把成熟方案稳定量产;但是从零研发全新器件工艺路线,指望他们拿到方案立刻给出全套量产参数,不现实。”
  “那东苏专家?”凡子清顺势提问。
  “东苏专家长处在于底层半导体物理、二维TCAD 器件仿真、载流子输运建模、光电结构推演。只要给定目标指标,他们可以依靠方程组推演最优像素结构、算出理论掺杂剖面、优化势阱分布。他们能够解决‘器件原理上能不能达到性能指标’这一层问题。
  但短板同样突出,长期面向军工特种器件研发,追求极限性能,对大规模连续量产的工艺窗口、薄膜应力波动、长期批量良率衰减、制造成本敏感度不足。他们能设计出理论完美的像素单元,却很难独立评估某一套工艺方案在连续量产中容错率高低。”
  所以我们的分工规则不能混乱,延续之前定下的双体系协作模式。
  东苏专家牵头负责器件物理层面创新:完成像素单元二维仿真、光电二极管掺杂剖面迭代、STI 沟槽电场仿真、电荷转移通道势阱优化,输出理论最优器件方案。
  东瀛工艺工程师负责量产转化评估,拿到器件方案之后,评估光刻窗口、刻蚀选择比、薄膜沉积时序、离子注入工艺容错范围,剔除理论性能优秀,但工艺窗口极窄、难以大规模量产的激进参数,把实验室方案转化为工业可量产的完整工艺菜单。
  两者缺一不可。
  只依靠东苏专家,方案容易出现样品性能极佳,批量流片良率持续崩盘,只依靠东瀛工艺工程师,所有人只会固守老旧LOCOS 两层栅基线,根本不敢尝试