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实时动态补偿？
梁孟松当然知道这个解决方案。
类似的方案在半导体领域就有应用。
“我们已经安装了大量的传感器，但它们只是在记录温度和振动。
我要你重新编写算法，让它们成为预测和修正的神经系统。
将光刻机的关键参数与环境传感器数据直接挂钩。
基于过去数千小时的良率数据，建立一个预测模型，在环境变化尚未对光刻胶产生影响之前，模型就提前预测出焦点将要发生的漂移量。
最后利用CG-1内部自带的高速微致动器，在微秒级别内，动态微调透镜组的位置，以抵消环境变化带来的光学失真。
这就像一个外科医生在抖动的手术台上，依靠神经反射保持手部稳定。
这样一来，光